372LOG 姫路

富士通とアユミ工業（姫路市）は、フラックスを用いずに、はんだバンプの表面酸化膜除去とバンプ形状の整形を可能とする、300ミリウェーハ対応のフラックスレスリフロー装置を開発し、富士通三重工場の300ミリウェーハ対応最先端ロジックLSI量産設備としての良好な稼動を確認しました。
本装置により、フラックスの洗浄工程が不要となるため、従来のリフロー装置に比べて工程が短縮するとともに、フラックス洗浄工程に起因する二酸化炭素の発生が抑制され、環境負荷を約30%削減することが可能です。アユミ工業では、本装置の製造・販売を予定しています。